第三百零三章 表彰重奖（2 / 2）

经过蒙小刚、廉安平教授以及几个相关领域的专家研究分析，认为arm1合格率过低的原因恰恰是光刻机精准度不达标造成的。

晶圆工厂内的这几条芯片生产线毕竟是使用了一二十年的设备，能正常生产芯片就不错了，想要苛求加工参数完全达标，几乎不可能。其中影响最大的，就是作为核心设备的光刻机。

廉安平教授亲自动手，使用专用夹具，将光刻完的几十片硅晶圆装进专用容器，拿去芯片生产线那边，去进行后续的刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨等步骤。

两个多小时之后，所有工序走完，几十片硅晶圆，变成了一千多枚封装完成的arm1芯片。

刘焱、乌光辉、廉安平教授等高管和研发人员，开始动手对这批芯片进行全面测试。

半小时后，所有芯片测试完成，廉安平教授对测试结果进行了汇总，最后宣布道：

“此次一微米光刻机测试，共选用了35片硅晶圆，加工过后，切割封装成1750枚芯片。

经全面测试，合格产品共1203枚，合格率为68.7%。也就是说，咱们光刻机研发实验室生产的第一台一微米光刻机，第一次开机测试生产，就成功了，且合格率已经达到了晶圆工厂内现有几台佳能和尼康光刻机的加工水平。”