第557章 发现纳米材料(1 / 2)
实验室中,叶明将准备好的两份文件拿了出来,一份为铜制工艺的优化调整,微米铜制程技术。
到现在为止苔积电还一直用铝制技术,在霉欧的封锁下,可能他们都没听说过!铜的电阻系数比铝还要低三倍,当电流太大的时候就会产生电迁移现象,当电阻系数降低,就能有效降低因为电迁移而导致的原子流失,制作也将更加稳定方便。
全铜制程技术是未来发展不可或缺的一步,能提前拿出来就能尽快占据国际市场。
相较于微米器件,微米工艺能使芯片的面积缩小百分之二十五的同时,性能提高百分之三十,使用八层金属层,宽度仅为八十纳米的门电路,能制作出核心电压为的组件。
铜制程除了电阻系数低的优点,还有一个关键点是以低介电质绝缘作为介电层材料。
如果说铜是芯片的骨头,那么低介电质绝缘材料就是肌肉,两者是相辅相成的。
对于这种低介电质绝缘材料叶明之前并没关注过,而且这种东西是严格保密的,加上前世对华夏的防范,这种材料的搭配和制作方式根本不可能流传出来。
叶明只知道现在使用的绝缘材料是传统氧化硅,介电常数大概是四左右,但那种保密材料的介电常数低至二点五左右!而低介电系数能够降低集成电路的漏电电流、降低导线之间的电容效应、降低电路发热等各种好处。
这种绝缘材料是一种芳香族热固性有机材料,不含氟、不含氮和氧,以寡聚物溶液的形式提供,到硅片上后在氮条件下加热完成初步交联。
而且他还知道如果这种材料中添加纳米级的空洞,能够更进一步降低介电系数,最低能够降到二点二左右,相比于传统氧化硅绝缘有着巨大无比的优势。
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